【特長】
●非回転構造ニードルバルブを採用により超精密な流体制御が可能です。
【用途】
●環境計測機器に。
●一般分析機器に。
●パージ装置に。
●半導体関連機器に。
【仕様】
●最大流量(L/min):0.5
●流体:空気
●質量(g):398
【備考】
●対象流体:空気
●精度:±2%F.S(計測ポイント)
●有効目盛:10:1
●接続サイズ:Rc1/4
●耐圧保証:最大流量5L/min以下 0.7MPa最大流量10L/min以上 0.5MPa
●耐熱温度:60℃
●供給圧力:0.1MPa
●ブロック材質:真鍮
●パッキン材質:NBR
【材質/仕上】
●本体:真鍮
●パッキン:ニトリルゴム(NBR)