【送料無料】[本/雑誌]/半導体真空技術 ポイント解説/宇津木勝/著(単行本・ムック)

2,750

販売サイトへ移動
宇津木勝/著/半導体真空技術 ポイント解説、メディア：BOOK、発売日：2011/05、重量：340g、商品コード：NEOBK-966189、JANコード/ISBNコード：9784501418908
※ご注文前に以下必ずご確認ください※


※書籍商品の購入に関するご注意※

関連人物・出版社
発売日
2011/05
商品説明
収録内容
  1. 1 基礎編(半導体製造装置と真空
  2. 真空の理論と計算
  3. 真空ポンプとその使い方
  4. 真空ゲージとその使い方
  5. ガスシステム・真空部分とその使い方
  6. リーク探し
  7. 真空装置の取り扱い)
  8. 2 応用編(サーマル装置とプロセス
  9. プラズマ装置とプロセス
  10. PVD装置とプロセス
  11. CVD装置とプロセス
  12. エッチング装置とプロセス
  13. インプランテーション装置とプロセス
  14. プロセス管理・検査測定装置)
販売サイトへ移動