【送料無料】[本/雑誌]/はじめての半導体ドライエッチング技術 (現場の即戦力)/野尻一男/著

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野尻一男/著/はじめての半導体ドライエッチング技術 (現場の即戦力)、メディア：BOOK、発売日：2020/10、重量：297g、商品コード：NEOBK-2546750、JANコード/ISBNコード：9784297115999
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発売日
2020/10
商品説明
収録内容
  1. 1章 半導体集積回路の発展とドライエッチング技術
  2. 2章 ドライエッチングのメカニズム
  3. 3章 各種材料のエッチング
  4. 4章 ドライエッチング装置
  5. 5章 ドライエッチングダメージ
  6. 6章 新しいエッチング技術
  7. 7章 アトミックレイヤーエッチング(ALE)
  8. 8章 ドライエッチング技術の今後の課題と展望
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