【送料無料】[本/雑誌]/よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する (図解入門:How‐nual Vis

佐藤淳一/著/よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する (図解入門:How‐nual Visual Guide Book)、メディア:BOOK、発売日:2019/12、重量:419g、商品コード:NEOBK-2441176、JANコード/ISBNコード:9784798060378
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発売日
2019/12
商品説明
製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる!
収録内容
  1. 第1章 半導体製造装置を取り巻く現状
  2. 第2章 半導体製造装置をファブから理解する
  3. 第3章 洗浄・乾燥装置
  4. 第4章 イオン注入装置
  5. 第5章 熱処理装置
  6. 第6章 リソグラフィー装置
  7. 第7章 エッチング装置
  8. 第8章 成膜装置
  9. 第9章 平坦化(CMP)装置
  10. 第10章 検査・測定・解析装置
  11. 第11章 後工程装置