【送料無料】[本/雑誌]/よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する (図解入門:How‐nual Vis
佐藤淳一/著/よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する (図解入門:How‐nual Visual Guide Book)、メディア:BOOK、発売日:2019/12、重量:419g、商品コード:NEOBK-2441176、JANコード/ISBNコード:9784798060378
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関連人物・出版社 |
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発売日 |
2019/12 |
商品説明 |
製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる! |
収録内容 |
- 第1章 半導体製造装置を取り巻く現状
- 第2章 半導体製造装置をファブから理解する
- 第3章 洗浄・乾燥装置
- 第4章 イオン注入装置
- 第5章 熱処理装置
- 第6章 リソグラフィー装置
- 第7章 エッチング装置
- 第8章 成膜装置
- 第9章 平坦化(CMP)装置
- 第10章 検査・測定・解析装置
- 第11章 後工程装置
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