【送料無料】[本/雑誌]/これからのMEMS LSIとの融合/江刺正喜/共著 小野崇人/共著
江刺正喜/共著 小野崇人/共著/これからのMEMS LSIとの融合、メディア:BOOK、発売日:2016/06、重量:340g、商品コード:NEOBK-1967402、JANコード/ISBNコード:9784627775510
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| 関連人物・出版社 |
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| 発売日 |
| 2016/06 |
| 商品説明 |
| MEMSはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用をMEMS研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのMEMS」続編。 |
| 収録内容 |
- 第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合)
- 第2章 次世代携帯機器
- 第3章 センサネットワーク・高機能センサ
- 第4章 光マイクロシステム
- 第5章 バイオ・医療用マイクロシステム
- 第6章 製造・検査装置
- 第7章 高度化と有効活用への道
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