ウェハーシングル搬送容器 SS50セット 1-2114-01
【特徴】
●低汚染を追求した材質で製造されています。
●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
【仕様】
●型番:SS50セット
●サイズ(mm):63×63×14
●適応ウェハー径(mm):φ50(2″)
●材質:カバー・ケース/PC(ポリカーボネート)、クッション/PBT(ポリブチレンテレフタレート)
●セット内容:本体・カバー・スプリング×各1枚
【特徴】
●低汚染を追求した材質で製造されています。
●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
【仕様】
●型番:SS50セット
●サイズ(mm):63×63×14
●適応ウェハー径(mm):φ50(2″)
●材質:カバー・ケース/PC(ポリカーボネート)、クッション/PBT(ポリブチレンテレフタレート)
●セット内容:本体・カバー・スプリング×各1枚