はじめてのＭＥＭＳ

内容説明

最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳをわかりやすく解説。

目次

第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合バランス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）

著者等紹介

江刺正喜［エサシマサヨシ］
１９７１年東北大学工学部電子工学科卒業。１９７６年東北大学大学院博士課程修了、東北大学工学部助手。１９８１年東北大学工学部助教授。１９９０年東北大学工学部教授。１９９５〜１９９８年東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー長。２００６〜２００９年東北大学大学院工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教育センター長。現在、東北大学原子分子材料科学高等研究機構（ＷＰＩ‐ＡＩＭＲ）教授。東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）センター長。半導体センサ、マイクロマシーニングによる集積化システム、ＭＥＭＳの研究に従事し、研究開発において先導的な役割を果たしてきた（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）