分光エリプソメトリー （第２版）
6,380
著者：藤原 裕之【著】
出版社：丸善出版
出版社：丸善出版
商品説明
内容説明
「第２版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。
目次
第１章 分光エリプソメトリーとは
第２章 光学の基礎
第３章 偏光
第４章 分光エリプソメトリーの原理
第５章 データ解析
第６章 光学異方性の評価
第７章 材料別解析例
第８章 分光エリプソメトリーによる実時間観測
著者等紹介
藤原裕之［フジワラヒロユキ］
１９９１年早稲田大学理工学部応用化学科卒業。１９９６年東京工業大学大学院博士課程修了、博士（工学）。１９９６年ペンシルバニア州立大学研究員。１９９８年通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究員。２００１年独立行政法人産業技術総合研究所研究員。２００３年同研究所主任研究員。２００７年同研究所太陽光発電研究センター研究チーム長。２００８年国立大学法人岐阜大学工学部教授。同大学未来型太陽光発電システム研究センター部門長（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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