絵とき「薄膜」基礎のきそ/小林春洋

内容情報
薄膜が作られる原理や、薄膜を作るにはどのような方法があり、それぞれどのような特徴があるのか、またできた膜をどのように評価するのかなど、薄膜作成のひととおりを絵解きでわかりやすく解説した入門書。