絵とき「放電技術」基礎のきそ / 小林春洋 〔本〕

発売日:2007年08月 / ジャンル:建築・理工 / フォーマット:本 / 出版社:日刊工業新聞社 / 発売国:日本 / ISBN:9784526058653 / アーティストキーワード:小林春洋 / タイトルキーワード:エトキホウデンギジュツキソノキソ

内容詳細:ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。目次:第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは/ 高度情報化社会を支える放電技術　ほか）/ 第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子/ 電子の３つの顔　ほか）/ 第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突/ 放電開始　ほか）/ 第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜/ プラズマＣＶＤ　ほか）/ 第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録/ 超ＬＳＩ　ほか）