エステック マスフローコントローラ SEC-E40MK3

■マスフローコントローラ SEC-E40MK3の特長

●対応ガス種：非腐食性ガス(N2,O2,Air,H2,Ar,Heに対応)
●フルスケール流量(N2)：10SCCM〜10SLM
●流量制御範囲：2〜100％F.S.
●流量制度：±1％F.S.
●使用環境温度：5〜50℃(精度保証15〜35℃)
●応答性：1秒以内(T98)
●動作差圧：50〜300kPa(10SCCM〜5SLM)(d),100〜300kPa(10〜30SLM)(d)
●外部リークレート：1×10-10Pa・m3/s(He)以下
●流量設定信号：0.1〜5VDC/2〜100％F.S.
●流量出力信号：0〜5VDC(0〜100%F.S.)
●駆動電源：+15VDC ±5％ 50mA,−15VDC ±5％ 150mA(3VA)
●接ガス部材質：SUS316,フッ素ゴム,PTFE,磁性ステンレス
●標準継手：1/4Swagelok,VCR
※専用電源ユニット,接続ケーブル別売です
※E40MK3は,ガス種限定モデル(N2,O2,Air,H2,Ar,Heに対応)です
※注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を指定下さい