小型デジタルマスフローコントローラー EX-250SC

■マスフローコントローラー EX-250SCの特長

●対象ガス：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2(記載ないガスはN2換算)
●流量レンジ：5SCCM〜10SLM
●制御範囲：2〜100％F.S.
●精度：±1.0％F.S.
●動作差圧：50〜300kPa(Ar、CO2：100〜300kPa)
●耐圧：980kPa
●接ガス部材質：SUS316、SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、FKE
●流量設定入力信号：0〜5VDC(入力インピーダンス約1MΩ)または4〜20mA(入力インピーダンス約250Ω)
●流量出力信号：0〜5VDC(負荷抵抗10kΩ以上)または4〜20mA(負荷抵抗500Ω以下)
●デジタル通信：RS485 ロータリースイッチによるアドレス設定
●電源：+15VDC(±5％)100mA以下、−15VDC(±5％)150mA以下または+24VDC(±10％)180mA以下
●継手：1/4F900(標準)
●外寸法・重量：W76×D30×H80mm・約500g