マスフローコントローラー MC-10RC-4SWLR4A0A0-06

■マスフローコントローラ MC-10シリーズ MC-10RC-4SWLR4A0A0-06の特長

●幅広い流量域をカバーしながら、低価格・短納期を実現しました。
●周囲温度補償方式サーマルセンサを採用し、センサ温度を低温にできるため長期安定性に優れています。
●ガス種、最大流量を変更できるバリアブルレンジ機能搭載

●流量レンジ(N2、at0℃、1atm)：0.008〜1L/min
●変更可能最大流量レンジ：0.4〜1L/min
●対象ガス：非腐食性ガス(N2、O2、Air、H2、Ar、He、CO2、CH4、C3H8など)
●最小制御流量：フルスケールの2％
●測定精度：±1.0％F.S.
●応答時間：1 sec以下
●再現性：±0.2％F.S.
●必要差圧：50〜300kPaD
●耐圧：1MPa
●材質：接ガス部：SUS316L、PTFE、磁性ステンレス、シール材：フッ素ゴム
●継手：1/4SWL相当
●電源：±15VDC(+15V 100mA、-15V 150mA)
※継手が1/4VCR相当、Rc1/4タイプもございます。お問合せ下さい
※電源ユニットは±15V 入出力0〜5Vの物を別途ご用意下さい。専用電源もございます
※ご注文時に出荷設定のガス種・フルスケール流量を必ずご指定下さい