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・特徴
・透明石英ガラスを原料としているので極めて高純度のSiO2ウールです。
・半導体関係では純度と耐熱を利用し、拡散炉の炉芯管パッキンに使用されています。
・耐薬品性からハロゲン用フィルター、ガスクロマトグラフの充填剤としても使用できます。仕様
・耐熱温度:1000度
・型番:Aグレード
・タイプ:2〜6μm(10g)