シリーズ:結晶成長のダイナミクス 7巻/柿本浩一

著者名:柿本浩一 
出版社名:共立出版
シリーズ名等:シリーズ：結晶成長のダイナミクス ７

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インターネットやIT技術の根幹をなしているのが半導体であり、その製造段階では極めて精密な製造プロセスの制御により、高均一で高品質の製品が製造されるようになってきている。このような高精度製造技術は液体や気体をコントロールすることにより、薄い膜を板状の半導体に作成することで実現する。本書では結晶成長を流れの視点から見て、重要な現象や非線形現象ゆえに必要な数値計算法についてわかりやすく解説する。また、最近注目を浴びているシミュレーション技術についても基礎から丁寧に記述している。

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